Фотолитография – совокупность важнейших технологических процессов создания электронных устройств, объединяющая в себе процессы нанесения, задубливания, экспонирования и проявления фоторезистов, работу с фотошаблонами и прямую генерацию изображений на поверхности пластины, покрытой фоторезистом. Каждый из этих процессов требует наличия специализированного, качественного и надёжного оборудования, а также расходных материалов, инструментов и упаковочной тары, чтобы результаты этих процессов были прогнозируемыми и с высоким процентом выхода годных в конце производственного цикла.